表面分析技術選書
二次イオン質量分析法 
日本表面科学会  編     
発行元:丸善出版(株)



半導体産業を中心とする鉄鋼産業、 生体を含めた有機高分子材料分野など、 多くのメーカ、 大学および研究所で実用されているSIMSの技術について、現場の分析実務技術者、材料および各種機能デバイスの開発に従事する技術者を対象に、第一線の研究者が解説.

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【定価】本体3,600円+ 税 【判型・フォーマット】A5 【ページ数・時間】208ページ 【ISBNコード】978-4-621-04623-4 【発行年月】1999年07月電子書籍あり

 
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